碳化硅材料
碳化硅陶瓷具有化學(xué)性能穩(wěn)定、耐高溫、耐磨損、耐腐蝕、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、機(jī)械強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于能源環(huán)保、半導(dǎo)體、國(guó)防軍工等領(lǐng)域。
0碳化硅陶瓷具有化學(xué)性能穩(wěn)定、耐高溫、耐磨損、耐腐蝕、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、機(jī)械強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于能源環(huán)保、半導(dǎo)體、國(guó)防軍工等領(lǐng)域。
碳化硅陶瓷具有化學(xué)性能穩(wěn)定、耐高溫、耐磨損、耐腐蝕、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、機(jī)械強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于能源環(huán)保、半導(dǎo)體、國(guó)防軍工等領(lǐng)域。
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碳化硅舟托 碳化硅舟托應(yīng)用于光伏電池片擴(kuò)散、LPCVD等環(huán)節(jié)，替代傳統(tǒng)石英舟托。采用一體成型、承載能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)強(qiáng)于石英舟托，且壽命是石英的5倍以上，目前舟托的尺寸上限超過2米7。 | 碳化硅舟 碳化硅舟應(yīng)用于光伏電池片擴(kuò)散、LPCVD等環(huán)節(jié)的wafer承載，替代傳統(tǒng)石英舟。承載能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)強(qiáng)于石英舟，且壽命是石英的5倍以上，產(chǎn)品精度為0.01mm。 | 碳化硅懸臂槳 碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定、高溫下不易變形，wafer裝載量大，使用壽命長(zhǎng)；是光伏wafer裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件；目前槳的長(zhǎng)度上限為4900mm。 |
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