碳化硅舟托

碳化硅舟托應用于光伏電池片擴散、LPCVD等環節，替代傳統石英舟托。采用一體成型、承載能力遠遠強于石英舟托，且壽命是石英的5倍以上，目前舟托的尺寸上限超過2米7。

碳化硅舟

碳化硅舟應用于光伏電池片擴散、LPCVD等環節的wafer承載，替代傳統石英舟。承載能力遠遠強于石英舟，且壽命是石英的5倍以上，產品精度為0.01mm。

碳化硅懸臂槳

碳化硅懸臂槳性能穩定、高溫下不易變形，wafer裝載量大，使用壽命長；是光伏wafer裝載系統的關鍵部件；目前槳的長度上限為4900mm。