0碳化硅陶瓷具有化學性能穩(wěn)定、耐高溫、耐磨損、耐腐蝕、導熱系數高、熱膨脹系數小、機械強度高等優(yōu)點,廣泛應用于能源環(huán)保、半導體、國防軍工等領域。
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碳化硅舟托 碳化硅舟托應用于光伏電池片擴散、LPCVD等環(huán)節(jié),替代傳統(tǒng)石英舟托。采用一體成型、承載能力遠遠強于石英舟托,且壽命是石英的5倍以上,目前舟托的尺寸上限超過2米7。 | 碳化硅舟 碳化硅舟應用于光伏電池片擴散、LPCVD等環(huán)節(jié)的wafer承載,替代傳統(tǒng)石英舟。承載能力遠遠強于石英舟,且壽命是石英的5倍以上,產品精度為0.01mm。 | 碳化硅懸臂槳 碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定、高溫下不易變形,wafer裝載量大,使用壽命長;是光伏wafer裝載系統(tǒng)的關鍵部件;目前槳的長度上限為4900mm。 |
